300钟罩镀膜机

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乘车路线:在东直门汽车站乘坐866路(东直门至雁栖开发区)公交车,至乐园大街北口站下车。


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伊特克斯电池智能装备
柱状及软包电池智能制造装备
         

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伊特克斯"365无忧";--超值延保服务 
“365无忧”延保服务价值   延保服务价值     全天候   全过程    更省钱    更及时    更安心    更方便    维修费用可控    专业维护服务
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       设备在过了1年的免费保修期后,将不再享受全免保修服务,而购买延保服务后,您可以继续享受免费保修,我们会定期回访设备使用情况,为您提供优质、完善的设备保修服务,免去您的后顾之忧。
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       您只需拨打伊特克斯统一客户服务热线:400-086-8156。400呼叫中心将24小时为您服务,您的一切需求我们能即刻满足。
★ 维修费用可控:
       未购买延保服务,维修费用将根据故障设备和故障情况收取,企业对设备维修费用不可控;购买了延保服务,对维修费用就可控了,变为预算制投入,可大幅减少设备维修成本增加带来的风险。
★ 专业维护服务: 让我们的服务团队为您提供更多专业支持,携手共创美好未来!

伊特克斯介绍.png


型号

EVAP400S

主真空室

方形前开门结构,尺寸L×W×H:400×400×450mm

进样室(选配)

开门结构,尺寸约为ø200 X 300mm

真空系统配置

主真空室

复合分子泵、机械泵、气动闸板阀

进样室

机械泵、分子泵、阀门

极限压力

主真空室

≤6. 67x10-5pa(经烘烤除气后)

进样室

≤6.67X10-4 pa(经烘烤除气后)

恢复真空时间

主真空室

30分钟可达到6. 6x10-4 pa(系统短时间暴露大气并充干燥氮气开始抽气)

进样室

30分钟可达到6. 6x10-3 Pa (系统短时间暴露大气并充干燥氮气开始抽气)

磁控靶组件

2-4套永磁靶;靶材尺寸ø60mm (其中一个可溅射磁性材料);各靶射频溅射和直流溅射兼容;靶内水冷;三个靶可共同折向上面的样品中心;靶与样品距离90~110mm可调;每个靶配气动挡板。

基片加热台

样品尺寸

ø3英寸

运动方式

基片可连续回转,转速0-30rpm

加热

基片加热最高温度600℃±1℃

挡板形式

进口SMC转角气缸控制

工艺气路系统

质量流量控制器2-4路

*可选部件

进样室磁控靶组件

永磁靶,靶材尺寸ø 60mm。

膜厚仪

国产/进口

静音气泵

无油润滑

计算机控制系统

自动控制、工艺读入、参数设置、实时监控等功能

设备占地面积

主机

1800X1200mm2

 

 

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